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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0560650(B2)	申请公布日期	1993.09.02
申请号	JP19850248742	申请日期	1985.11.08
申请人	ANELVA CORP	发明人	FUJIMOTO HIDEKI
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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