发明名称 SHAPE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05223531(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 JP19920027852 申请日期 1992.02.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA KIYOBUMI;SHIRAHATA TETSUO;EZAKI SATORU
分类号 G01B11/24;H01R43/20;H01R43/28 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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