发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05222535(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 JP19920021224 申请日期 1992.02.06
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 KATSUMATA SATOSHI
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/30;C23C16/44 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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