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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON-ON-INSULATOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05217822(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920022237 申请日期 1992.02.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AOKI MASAKI
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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