发明名称 GERAET ZUR BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN.
摘要
申请公布号 DE3882404(D1) 申请公布日期 1993.08.26
申请号 DE19883882404 申请日期 1988.03.25
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHMI, KAZUAKI, HADANO-SHI KANAGAWA-KEN, JP;DEN, TOHRU, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;TSUDA, HISANORI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUGATA, MASAO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOKONO, KOHJIRO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46;C23F4/00 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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