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经营范围
发明名称
GERAET ZUR BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN.
摘要
申请公布号
DE3882404(D1)
申请公布日期
1993.08.26
申请号
DE19883882404
申请日期
1988.03.25
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
OHMI, KAZUAKI, HADANO-SHI KANAGAWA-KEN, JP;DEN, TOHRU, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;TSUDA, HISANORI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUGATA, MASAO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOKONO, KOHJIRO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号
C23C16/04;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46;C23F4/00
主分类号
C23C16/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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