| 发明名称 |
PRECIPITATION METHOD OF LAYER FROM VAPOR PHASE BY MEANS OF PLASMA |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05217922(A) |
申请公布日期 |
1993.08.27 |
| 申请号 |
JP19920285333 |
申请日期 |
1992.09.29 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HAINTSU SHIYUTAINHARUTO;KONRAATO HIIBAA;TSUFUONIMIIRU GABURIIKU;RAINAA BURAUN;HERUMUUTO TORAIHIERU;OSUWARUTO SHIYUPINDORAA;AREKUSANDAA GESHIYUWANTONAA |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/452;C23C16/511;C23C16/517;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
