发明名称 HEATER
摘要
申请公布号 JPH05215473(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19920046349 申请日期 1992.02.03
申请人 TOKYO ELECTRON TOHOKU KK;NICHIAS CORP 发明人 NAKAO MASARU;SAKURAI SEIJI;MIYAHARA YOSHIHISA;MOTOYOSHI YOSHIYUKI
分类号 F27D11/02;C30B25/10;C30B31/12;F27B5/04;F27D1/00;H01L21/22;H05B3/14;H05B3/64 主分类号 F27D11/02
代理机构 代理人
主权项
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