发明名称 WATER DECOMPOSING AGENT, METHOD FOR DECOMPOSING AND REMOVING MOISTURE ADSORBED ON MATERIAL SURFACE AND MOISTURE IN GAS USING THE AGENT AND THEIR DEVICES
摘要
申请公布号 JPH05213604(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19910177299 申请日期 1991.06.22
申请人 TADENUMA KATSUYOSHI 发明人 TADENUMA KATSUYOSHI
分类号 B08B3/08;C01B7/01;C09K3/18;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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