发明名称 VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05211125(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920014880 申请日期 1992.01.30
申请人 NEC CORP 发明人 NARUTOMI YASUO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址