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发明名称 VERTICAL TYPE DEPRESSURIZED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05211122(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19910318759 申请日期 1991.12.03
申请人 NEC CORP 发明人 KANEKO TOSHIYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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