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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH05209741(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19910220011 申请日期 1991.08.30
申请人 CANON INC 发明人 NEGISHI MASATO
分类号 G01B21/20;G01B21/00 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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