| 发明名称 |
MEGASONIC CLEANING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0546685(A3) |
申请公布日期 |
1993.08.18 |
| 申请号 |
EP19920310248 |
申请日期 |
1992.11.10 |
| 申请人 |
SUBMICRON SYSTEMS, INC. |
发明人 |
GRANT, ROBERT W.;NOVAK, RICHARD E. |
| 分类号 |
B06B1/06;B08B3/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B06B1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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