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发明名称 OXIDE-SYSTEM DIELECTRIC THIN FILM FORMED BY CVD METHOD USING VAPOUR OF ORGANIC SOLVENT
摘要
申请公布号 GB2264119(A) 申请公布日期 1993.08.18
申请号 GB19930003160 申请日期 1993.02.17
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUSAOKI * UCHIKAWA;SHIGERU * MATSUNO;SHIN-ICHI * KINOUCHI;HISAO * WATARAI;TOSHIHISA * HONDA;TAKEHARU * KUROIWA;TAKASHI * HIGAKI
分类号 C23C16/40;C23C16/448 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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