发明名称 VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 DE4203632(A1) 申请公布日期 1993.08.12
申请号 DE19924203632 申请日期 1992.02.08
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE;TOPPAN PRINTING CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 GRIMM, HELMUT, DR., 6100 DARMSTADT, DE;KRUG, THOMAS, DR., 6450 HANAU, DE;MEIER, ANDREAS, DIPL.-PHYS., 7417 PFULLINGEN, DE;RUEBSAM, KLEMENS, DIPL.-PHYS., 6485 JOSSGRUND, DE;STEINIGER, GERHARD, DIPL.-PHYS., 6451 RONNEBURG, DE;GAMO, MIKA, KASUKABE, SAITAMA, JP;SEKIGUCHI, MAMORU, KAWAGUCHI, SAITAMA, JP;KANO, MITSURU, TOKIO/TOKYO, JP;YASUJIMA, HIROYUKI, TOKIO/TOKYO, JP;YASUJIMA, HIROYUKI, TOKIO/TOKYO, JP;MIYAMOTO, TAKASHI, SAITAMA, JP;SASAKI, MOBORU, SAITAMA, JP
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/56;H01J37/305;H01J37/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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