| 发明名称 | 四棒石英舟 | ||
| 摘要 | 一种四棒石英舟，包括开槽棒和两联接端，其技术要点是：联接端是由棒料弯制成整体倒梯形，倒梯形联接端的四顶点联接四根开槽棒。本实用新型的优点是：硅片与石英舟之间有四个接触点，受力均匀，硅片在高温下不易产生翘曲、变形；开槽棒上的插槽深度一致，使插装的硅片高度一致，保证扩散气流平稳；开槽棒的插槽口有倒角，硅片插装时不会划伤，保证产品质量。 | ||
| 申请公布号 | CN2140103Y | 申请公布日期 | 1993.08.11 |
| 申请号 | CN92236000.6 | 申请日期 | 1992.11.06 |
| 申请人 | 沈阳优耐特石英有限公司 | 发明人 | 郑辉;浦瑞;张黎;吴恩国;韩增义 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 沈阳市专利事务所 | 代理人 | 张述学 |
| 主权项 | 1、一种四棒石英舟，包括开槽棒和两联接端，其特征是：联接端是由棒料弯制成整体倒梯形，倒梯形联接端的四顶点联接四根开槽棒。 | ||
| 地址 | 110026辽宁省沈阳市铁西区北启工街三十一号 | ||