| 发明名称 |
METHOD FOR ATMOSPHERIC GLOW PLASMA REACTION IN TUBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05202481(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
JP19900409460 |
申请日期 |
1990.12.28 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
KOKOMA MASUHIRO;OKAZAKI SACHIKO |
| 分类号 |
C08F2/52;C08F2/00;C23C16/50;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 |
主分类号 |
C08F2/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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