发明名称 PRODUCTION OF PHASE SHIFT RETICLE
摘要
申请公布号 JPH0553289(B2) 申请公布日期 1993.08.09
申请号 JP19890309045 申请日期 1989.11.30
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SHIOZAKI MORIO
分类号 H01F27/20;(IPC1-7):H01F27/20 主分类号 H01F27/20
代理机构 代理人
主权项
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