| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR FILM FORMATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05198518(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920030004 |
申请日期 |
1992.01.21 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KOBAYASHI YASUYUKI;KOBAYASHI NAOKI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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