发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH05198859(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920008362 申请日期 1992.01.21
申请人 NIPPON SOKEN INC 发明人 ABE MASAYUKI;IZAWA AKIHIRO;TSUZUKI SACHIHIRO
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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