| 发明名称 |
APPARATUS FOR THE PRODUCTION OF HIGH RESOLUTION IMAGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2176628(A) |
申请公布日期 |
1986.12.31 |
| 申请号 |
GB19860013806 |
申请日期 |
1986.06.06 |
| 申请人 |
GILLIAN MARGARET * DAVIS;IAN NORMAN * ROSS |
发明人 |
GILLIAN MARGARET * DAVIS;IAN NORMAN * ROSS |
| 分类号 |
G03F7/20;G03H1/00;G03H1/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03H1/22 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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