发明名称 STRUCTURE CRISTALLINE COMPOSITE A COUCHE EPITAXIALE DES GROUPES II-VI SUR SUBSTRAT DE SILICIUM ET SON PROCEDE D'OBTENTION.
摘要 La présente invention concerne une structure cristalline composite constituée par une couche épitaxiale (5) des groupes II-VI formée par croissance, sur un substrat (4) choisi parmi le silicium, l'arséniure de gallium et l'arséniure de gallium (GaAs) sur silicium, caractérisée en ce que ledit substrat présente une orientation cristalline comportant un plan (111), ladite couche épitaxiale des groupes II-VI présente une orientation cristalline comportant un plan (111), et en ce qu'il existe un glissement par rotation dans le plan de 30degré entre les orientations cristallines dudit substrat et de ladite couche épitaxiale des groupes II-VI. La présente invention concerne également un procédé d'obtention d'une telle structure cristalline composite par un procédé MOCVD. L'invention est applicable notamment à la détection infrarouge.
申请公布号 FR2687010(A1) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 FR19930000812 申请日期 1993.01.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 EBE HIROJI;SAWADA AKIRA
分类号 H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/36;H01L21/365;H01L31/0264 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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