| 发明名称 |
HEATER AND HEATING PROCESSING DEVICE USING SUCH HEATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05198516(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920027441 |
申请日期 |
1992.01.20 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TAMAMURA KOJI;TANAKA SADAO;TAKATSU MEGUMI |
| 分类号 |
C23C16/46;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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