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发明名称 DEVICE WITH NON-HEATING TYPE HOLLOW CATHODE TO DYNAMIC GENERATION OF PLASMA
摘要
申请公布号 JPH05198386(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920047029 申请日期 1992.03.04
申请人 PUROERU TECHNOL SPA 发明人 CHIRI JIANFURANKO
分类号 H05H1/34;B64G1/22;H05H1/24 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
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