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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPS6230324(A) 申请公布日期 1987.02.09
申请号 JP19850168903 申请日期 1985.07.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASAKA NOBUO;OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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