发明名称 INSPECTING METHOD FOR CRYSTALLINE DEFECT OF GAP WAFER
摘要
申请公布号 JPH05198650(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920030132 申请日期 1992.01.21
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK;HAMAOKA TOSHIBA ELECTRON KK 发明人 WASHITSUKA SHOICHI;WATANABE AYAKO;KAWARASAKI HIDEKI
分类号 H01L21/308;H01L21/66 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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