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发明名称
INSPECTING METHOD FOR CRYSTALLINE DEFECT OF GAP WAFER
摘要
申请公布号
JPH05198650(A)
申请公布日期
1993.08.06
申请号
JP19920030132
申请日期
1992.01.21
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK;HAMAOKA TOSHIBA ELECTRON KK
发明人
WASHITSUKA SHOICHI;WATANABE AYAKO;KAWARASAKI HIDEKI
分类号
H01L21/308;H01L21/66
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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