发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05190514(A) |
申请公布日期 |
1993.07.30 |
申请号 |
JP19920005684 |
申请日期 |
1992.01.16 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KITANO NAOKI;SUZUKI KATSUNORI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|