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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190454(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920001193 申请日期 1992.01.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAWADA AKIRA;EBE KOJI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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