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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190821(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920003462 申请日期 1992.01.13
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI SATOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L27/14 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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