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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190505(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920002956 申请日期 1992.01.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIRIYAMA SHUJI
分类号 G01N21/73;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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