发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05190428(A) |
申请公布日期 |
1993.07.30 |
申请号 |
JP19920004195 |
申请日期 |
1992.01.13 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NISHINO HISAYASU;YAMADA AKIO;DAIKYO YOSHIHISA;YASUDA HIROSHI |
分类号 |
G03F7/20;H01J37/147;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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