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发明名称	METHOD STORING OF MAPPING DATA
摘要
申请公布号	JPH05190614(A)	申请公布日期	1993.07.30
申请号	JP19920003532	申请日期	1992.01.13
申请人	NEC KYUSHU LTD	发明人	NISHIMURA KATSUHIRO
分类号	H01L21/02;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
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