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发明名称
METHOD OF SPUTTERING
摘要
申请公布号
EP0352308(B1)
申请公布日期
1993.07.28
申请号
EP19890900684
申请日期
1988.03.24
申请人
WEHNER, GOTTFRIED, K.
发明人
WEHNER, GOTTFRIED, K.
分类号
C23C14/34;H01L39/24
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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