发明名称 SURFACE ANALYZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05187862(A) 申请公布日期 1993.07.27
申请号 JP19920002107 申请日期 1992.01.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASHI MASAKAZU;ISHIDA FUMIHIKO
分类号 G01B5/28;B81C99/00;G01B11/30;G01B21/30;G01N19/02;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/26;H01J37/28 主分类号 G01B5/28
代理机构 代理人
主权项
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