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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05182984(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910359916 申请日期 1991.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 MIURA OSAMU
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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