SPIN HEAD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS,申请号JP19910358274-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SPIN HEAD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH05182901(A)	申请公布日期	1993.07.23
申请号	JP19910358274	申请日期	1991.12.27
申请人	HITACHI ELECTRON ENG CO LTD	发明人	UNO MASAO;KODAMA MASAYOSHI;HORIE NOBORU;KATO KAZUHIRO
分类号	B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027	主分类号	B05C11/08
代理机构		代理人
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