摘要 |
<p>Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Ionisation von bei Unterdruck thermisch erzeugten Materialdämpfen, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Materialdämpfe den Elektronen aus den Kathodenflecken (6) einer selbstverzehrenden kalten Kathode (3, 4) ausgesetzt werden, wobei die thermische Verdampfungsvorrichtung (7) als Anode geschaltet wird, so daß sich zwischen Kathode (3, 4) und Anode (7) eine Vakuum-Lichtbogenentladung ausbildet. Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, wobei in einer Unterdruckkammer (1) eine kühlbare Kathodenhalterung (3) mit dem darauf aufgebrachten Kathodenmaterial (4) zur Erzeugung von Kathodenflecken auf der selbstverzehrenden kalten Kathode, ein als Anode geschaltetes thermisches Materialverdampfungssystem (7, 8, 9) und eine die Kathode umgebende, als Hilfsanode geschaltete Wandung (10), die der Kathode gegenüberliegend eine Öffnung besitzt, angeordnet sind.</p> |