发明名称 PROCESS FOR IONISING THERMALLY GENERATED MATERIAL VAPOURS AND DEVICE FOR IMPLEMENTING IT
摘要 <p>Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Ionisation von bei Unterdruck thermisch erzeugten Materialdämpfen, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Materialdämpfe den Elektronen aus den Kathodenflecken (6) einer selbstverzehrenden kalten Kathode (3, 4) ausgesetzt werden, wobei die thermische Verdampfungsvorrichtung (7) als Anode geschaltet wird, so daß sich zwischen Kathode (3, 4) und Anode (7) eine Vakuum-Lichtbogenentladung ausbildet. Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, wobei in einer Unterdruckkammer (1) eine kühlbare Kathodenhalterung (3) mit dem darauf aufgebrachten Kathodenmaterial (4) zur Erzeugung von Kathodenflecken auf der selbstverzehrenden kalten Kathode, ein als Anode geschaltetes thermisches Materialverdampfungssystem (7, 8, 9) und eine die Kathode umgebende, als Hilfsanode geschaltete Wandung (10), die der Kathode gegenüberliegend eine Öffnung besitzt, angeordnet sind.</p>
申请公布号 WO1993014240(A1) 申请公布日期 1993.07.22
申请号 EP1993000009 申请日期 1993.01.06
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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