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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH0684494(A)
申请公布日期
1994.03.25
申请号
JP19920233347
申请日期
1992.09.01
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
TAKAHAMA TAKASHI;ITOGA TOSHIHIKO;USUI HIROO;HIRAIWA ATSUSHI
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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