发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0684494(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920233347 申请日期 1992.09.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TAKAHAMA TAKASHI;ITOGA TOSHIHIKO;USUI HIROO;HIRAIWA ATSUSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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