发明名称 |
PIEZOELEKTRISCHES SCHICHTELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG. |
摘要 |
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申请公布号 |
AT91046(T) |
申请公布日期 |
1993.07.15 |
申请号 |
AT19890101490T |
申请日期 |
1989.01.28 |
申请人 |
XAAR LIMITED |
发明人 |
MICHAELIS, ALAN JOHN;PATON, ANTHONY DAVID |
分类号 |
H01L41/22;(IPC1-7):H01L41/22 |
主分类号 |
H01L41/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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