发明名称 PIEZOELEKTRISCHES SCHICHTELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 AT91046(T) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 AT19890101490T 申请日期 1989.01.28
申请人 XAAR LIMITED 发明人 MICHAELIS, ALAN JOHN;PATON, ANTHONY DAVID
分类号 H01L41/22;(IPC1-7):H01L41/22 主分类号 H01L41/22
代理机构 代理人
主权项
地址