发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FOCUSING HARD X-RAYS.
摘要 Cristal à substance composite ne se disloquant pas présentant une constante de réseau qui diminue sur la longueur du cristal (38), servant à focaliser de manière convergente des faisceaux de rayons X durs ou de rayons gamma (11). Dans ce système, un cristal (34) ne se disloquant pas à substance unique collimate des faisceaux diffus de rayons X durs ou de rayons gamma et projette les rayonnements collimatés (11') sur le cristal (38) de focalisation. Un masque (36) positionné entre le cristal (34) de collimation et le cristal (38) de focalisation permet aux rayonnements collimatés (11') de transporter une image du masque (36). Le cristal (38) de focalisation produit un faisceau convergent de rayons X durs ou de rayons gamma (11''') servant à focaliser une image réduite du masque (36) sur la couche photosensible (41) d'une tranche (39). Un cristal ne se disloquant pas dont la constante de réseau diminue sur sa longueur (38) peut être par exemple un cristal (20) de silicium - germanium ne se disloquant pas dans lequel la proportion de germanium par rapport au silicium varie sur la longueur du cristal.
申请公布号 EP0550734(A1) 申请公布日期 1993.07.14
申请号 EP19920916747 申请日期 1992.06.15
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 VALI, VICTOR;LAWRENCE, ALBERT, F.;CHANG, DAVID, B.
分类号 G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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