发明名称 CATHODE FOR PRODUCING PLASMA
摘要
申请公布号 JPH05174721(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910342997 申请日期 1991.12.25
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 HAMAGAKI MANABU;HARA TAMIO
分类号 H01J27/16;H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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