发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05175165(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910342767 申请日期 1991.12.25
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SENOO KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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