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发明名称
SCAN CIRCUIT FOR DIGITAL LOGIC DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05172897(A)
申请公布日期
1993.07.13
申请号
JP19910342740
申请日期
1991.12.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
MATSUBARA OSAMU
分类号
G01R31/28;H01L21/66;H04R3/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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