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经营范围
发明名称
OPTICAL CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05175136(A)
申请公布日期
1993.07.13
申请号
JP19910258040
申请日期
1991.10.04
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
TAMAGAWA KOICHI;ITSUDO SHIGEFUMI;TAKAHASHI SEIICHI
分类号
C23C16/48;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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