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发明名称 MAGNETIC SHIELD FOR LINEAR ELECTRON GUN
摘要
申请公布号 JPH05174764(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910340952 申请日期 1991.12.24
申请人 LASER NOUSHIYUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI;MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 WAKAMOTO IKUO;OBATA KOJI;NAKAMURA TAKAMASA
分类号 C23C14/30;H01J37/09;H01J37/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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