| 发明名称 |
DISPOSITIVO PER LA IONIZZAZIONE DI METALLI AD ALTA TEMPERATURA DI FUSIONE, UTILIZZABILE SU IMPIANTATORI IONICI DEL TIPO IMPIEGANTE SORGENTI DI IONI DI TIPO FREEMAN O ASSIMILABILI |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IT1238337(B) |
申请公布日期 |
1993.07.12 |
| 申请号 |
IT19900019134 |
申请日期 |
1990.01.23 |
| 申请人 |
CONSORZIO PER LA RICERCA SULLA MICROELETTRONICA NEL MEZZOGIORNO |
发明人 |
RASPAGLIESI MARIO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/08;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
