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发明名称 OPTICAL MEASUREMENT DEVICE WITH ENHANCED SENSITIVITY
摘要
申请公布号 EP0503874(A3) 申请公布日期 1993.07.07
申请号 EP19920301990 申请日期 1992.03.09
申请人 THERMA-WAVE INC. 发明人 WILLENBORG, DAVID L.;OPSAL, JON;ROSENCWAIG, ALLAN
分类号 G01B11/06;G01M11/00;G01N21/21;G01N21/55;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/21;G01B11/30 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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