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发明名称 SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROLLER
摘要
申请公布号 KR930006120(B1) 申请公布日期 1993.07.07
申请号 KR19890019522 申请日期 1989.12.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. 发明人 SUEMITSU, TOSHIYUKI;YOKOYAMA, MASAHIDE;KAWA, HIDETOSHI
分类号 C23C14/50;C23C16/44;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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