发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05167007(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910352266 申请日期 1991.12.13
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 H01L27/00;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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