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摘要
申请公布号
JPH0543303(B2)
申请公布日期
1993.07.01
申请号
JP19870174138
申请日期
1987.07.13
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
NODA NOBORU
分类号
H01L29/80;H01L21/337;H01L29/808;(IPC1-7):H01L29/804
主分类号
H01L29/80
代理机构
代理人
主权项
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