| 主权项 |
1.一种化学敏化型正型作用之光阻组合物,其包括 在有机溶剂中均匀溶液形式的: (a)酸产生剂,其系一种化合物被光化射线照射时能 释出酸,用量范围为1至20重量%,此化 合物系选自:双(磺醯基)重氮甲烷化合物、磺醯基 羰基烷化合物、磺醯基羰基重氮甲烷化合 物、硝苯基磺酸酯化合物、多羟基化合物与脂族 或芳族磺酸化合物间的酯化合物及ccim盐化 合物; (b)树脂化合物,在酸之存在下其在硷水溶液中的溶 解度可增加,用量为100重量份,此树脂 化合物系一种基于聚(羟苯乙烯)之树脂,其系一种 聚(羟苯乙烯)树脂,聚(羟苯乙烯)树脂中 的羟基之氢原子至少一部分被保护基所取代,该保 护基系选自:第三丁氧羰基、第三丁基、 第三戊氧羰基及缩醛基; (c)胺化合物,用量范围为成分(b)用量的0.01至1重量% ;及 (d)羧酸化合物,用量范围为成分(b)用量的0.01至5重 量%。2.如申请专利范围第1项之化学敏化型正型作 用之光阻组合物,其中缩醛基系选自:烷氧烷 基,其之烷氧基及烷基各具有1至4个碳原子,四氢 喃基及四氢喃基。3.如申请专利范围第1项之化 学敏化型正型作用之光阻组合物,其中成分(b)系为 下列的组合 : 第一种基于聚(羟苯乙烯)之树脂,其系一种聚(羟苯 乙烯)树脂,此聚(羟苯乙烯)树脂中10至 60%的羟基之氢原子被第三丁氧羰基所取代;及 第二种基于聚(羟苯乙烯)之树脂,其系一种聚(羟苯 乙烯)树脂,此聚(羟苯乙烯)树脂中10至 60%的羟基之氢原子被烷氧烷基断取代,其之烷氧基 及烷基各具有1至4个碳原子; 重量比例范围为10:90至70:30。4.如申请专利范围第1 项之化学敏化型正型作用之光阻组合物,其中当作 成分(c)的胺化合物 系选自:脂族胺化合物、芳族胺化合物及杂环胺化 合物。5.如申请专利范围第4项之化学敏化型正型 作用之光阻组合物,其中当作成分(c)的胺化合物 系脂族胺化合物。6.如申请专利范围第5项之化学 敏化型正型作用之光阻组合物,其中该脂族胺为三 乙基胺。7.如申请专利范围第1项之化学敏化型正 型作用之光阻组合物,其中当作成分(d)的羧酸化合 物系芳族羧酸。8.如申请专利范围第7项之化学敏 化型正型作用之光阻组合物,其中芳族羧酸系柳酸 。9.如申请专利范围第1项之化学敏化型正型作用 之光阻组合物,其中成分(d)的用量范围以重 量计系为成分(c)用量的2至20倍。 |
